一、仪器简介
EPMA（电子探针X射线显微分析仪） 是以微区成分定量分析为主要目的的仪器。
工作原理：用聚焦细电子束轰击样品表面，测量产生的特征X射线（通过波谱仪WDS）进行元素定性和定量分析，同时也可用二次电子、背散射电子观察样品形貌。
分析能力：元素范围：硼（B）～铀（U）（不能分析H、He，Li难测）。
定量准确度高：相对误差通常<2%。
检测极限：一般为50～100 ppm。
微区分析：分析区域在µm³量级，可关联成分与显微结构。
仪器配置：配备WDS（保证高精度）与EDS（快速筛查）。配有光学显微镜，用于精确定位分析点（保证罗兰圆聚焦）。真空腔体较大，束流较大，故二次电子像分辨率略低于SEM。
其他特点：无损分析，不损坏样品。分析速度较快（计算机辅助修正）。适用于各类在真空中稳定的固体，尤其材料科学、地质、冶金等领域。
二、培训对象
对电子探针分析仪有使用需求的在校师生
三、培训内容
电子探针分析仪的基本原理、应用场景、应用分析与和能谱仪的区别等。
四、培训安排
时间：5月13日下午2：00-3：30
地点：B2-227
五、报名通道
请扫描下方二维码报名（5月11日-5月13日止）
